格罗方德Fab11打造世界级智能自动化工厂 明年3月前 完成项目建设

“这么大规模的晶圆代工厂，从世界范围来看都是十分少见的。”袁明说，此前，建设方前往新加坡等地的晶圆代工厂进行过考察，从建设体量规模来说，格罗方德成都项目都远超上述晶圆代工厂。

据了解，Fab11项目包括至少3类重点建筑：囊括百级洁净车间的Fab厂房类建筑；制备、储存、处理有毒化学气体及液体的气体站及危险品库类建筑；进程高低压变配及输送管理的变电站及动力厂房类建筑。

据悉，以上3类建筑均有各自的专业标准和要求，部分标准远超国标，直接沿用国际标准。

技术难度高

采用世界一流的自动化技术

打造智能电子厂房

除规模大外，项目还对建设技术有相当高的要求。晶圆是最常用的半导体材料，晶圆越大，同一圆片上可生产的IC芯片就越多，对材料技术和生产技术的要求也更高。

作为集成电路乃至芯片级的制造工厂，有别于产业链下端的封装、组配工厂，要求的配套设施更为全面专业。Fab11厂区按BOD（基础设计）规划，共有16类建筑与构筑物，包括生产调度及研发厂房、芯片厂房、动力站、化学品供应站和地下雨水蓄水池等。其中动力站、危险品库、大宗气体站等建筑都是其他传统工业厂房中罕见的。

“我们不仅要为格罗方德生产线建设一个生产空间，更要建设一个完整的生产系统。就好像一个人，除了躯干之外还要有血管、神经系统等。”成都建工集团项目经营经理王霞表示，Fab11成都工厂有大量常规工业厂房未涉及的制作工艺和标准考量，包括离子注入、光刻胶、封装、处理器等17个工艺环节。

与常规的厂房项目相比，该项目最大的难点就在于复杂的生产系统，在几十万平方米的空间内，囊括了动力系统、特殊气体站、超纯水系统等复杂体系，并要在建设中同步完成。项目采用世界一流的自动化技术，建设自动化物料运送系统、厂务管理系统、数据分析系统等，打造智能电子厂房，实现全自动化的晶圆制造。

名词 解释

Fab11，格罗方德在全球第11家晶圆代工厂的代号。这是格罗方德在中国最大和最先进的晶圆制造基地。投资上百亿美元,占地近76万平方米，落户成都高新区的Fab11建成后将成为世界上标准最高、体量最大的晶圆代工厂之一。届时将改变成都乃至全省电子信息产业在全球版图上的布局。

本报记者 缪琴 宋妍妍

成都高新区发策局供图